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2020.06.02

高精度、低振動の半導体ウエハー用ロボットを発売/安川電機

 安川電機は5月28日、半導体基板のウエハーを搬送するクリーンルーム向けロボット「SEMISTAR-GEKKO(セミスターゲッコー) MD124D」(=写真左)を発売した。

 減速機を搭載せず、自社製のACサーボモーター「Σ-7(シグマセブン)シリーズ」でロボットアームを直接駆動させるダイレクトドライブ駆動を採用。位置決め精度を従来機種比で2倍にし、振動も同6分の1に抑えた。300 mmの半導体ウエハーの搬送に使える。
 併せて、小型で軽いクリーンロボット用の標準コントローラー「SR200」(=写真右)も開発した。自社開発のマシンコントローラーを採用し、従来機種比で体積は42%、質量は35%減を実現。半導体業界で広く使われる国際規格(SEMI規格)などに適合する。

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